表面電阻率測(cè)試儀在很多方面都有所應(yīng)用，比較典型的應(yīng)用有以下幾種：
1.測(cè)量防靜電鞋、導(dǎo)電鞋的電阻值
2.測(cè)量防靜電材料的電阻及電阻率
3.測(cè)量計(jì)算機(jī)房用活動(dòng)地板的系統(tǒng)電阻值
4.測(cè)量絕緣材料電阻(率)
5.光電二極管暗電流測(cè)量
6.物理，光學(xué)和材料研究
表面電阻率測(cè)試儀用于高阻測(cè)量時(shí)一定要嚴(yán)格按使用方法進(jìn)行，否則有可能造成儀器*損壞或電人。具體步驟如下：
1、應(yīng)在“Rx”兩端開(kāi)路時(shí)調(diào)零(主機(jī)開(kāi)機(jī))。如接在電阻箱或被測(cè)量物體上時(shí)調(diào)零后測(cè)量會(huì)產(chǎn)生很大的誤差。一般一次調(diào)零后在測(cè)試過(guò)程中不需再調(diào)零，但改變測(cè)量電壓后可能要重新調(diào)零。
2、禁止將“Rx”兩端短路，以免微電流放大器受大電流沖擊。
3、在測(cè)試過(guò)程中不要隨意改動(dòng)測(cè)量電壓，隨意改動(dòng)測(cè)量電壓可能因電壓的過(guò)高或電流過(guò)大損壞被測(cè)試器件或測(cè)試儀器，而且有的材料是非線性的，即電壓與電流是不符合歐姆定律，有改變電壓時(shí)由于電流不是線性變化，所以測(cè)量的電阻也會(huì)變化。
4、測(cè)量時(shí)從低次檔逐漸拔往高次檔
每撥一次稍停留1～2秒以便觀察顯示數(shù)字，當(dāng)有顯示值時(shí)應(yīng)停下，記錄當(dāng)前的數(shù)字即是被測(cè)電阻值。若顯示“1”時(shí)，表示欠量程應(yīng)往高次檔拔。直到有顯示數(shù)字時(shí)為止。當(dāng)有顯示數(shù)字時(shí)不能再往高次檔撥，否則有可能損壞儀器(機(jī)內(nèi)有過(guò)電流保護(hù)電路)。除104Ω檔之外，當(dāng)顯示低于1.99，表示過(guò)量程應(yīng)換低檔!
5、在測(cè)量高阻時(shí)，應(yīng)采用屏蔽盒將被測(cè)物體屏蔽。在測(cè)量大于1010Ω以上時(shí)，為防止外界干擾面而引起讀數(shù)不穩(wěn)。
6、接通電源后，手指不能觸及高壓線的金屬部分。
表面電阻率測(cè)試儀有二連根線：高壓線(紅)和微電流測(cè)試線。在使用時(shí)要注意高壓線，開(kāi)機(jī)后人不能觸及高壓線，以免電人或麻手。
7、測(cè)試過(guò)程中不能觸摸微電流測(cè)試端。微電流測(cè)試端zui怕受到大電流或人體感應(yīng)電壓及靜電的沖擊。所以在開(kāi)機(jī)后和測(cè)試過(guò)程中不能與微電流測(cè)試端接觸，以免損壞儀表。
8、每次測(cè)量完時(shí)應(yīng)將表面電阻率測(cè)試儀量程開(kāi)關(guān)撥回“104”檔再進(jìn)行下次測(cè)試。在測(cè)量時(shí)應(yīng)逐漸將量程開(kāi)關(guān)撥到高阻檔，測(cè)量完時(shí)應(yīng)將電流電阻量程、電壓量程開(kāi)關(guān)撥回低檔。以確保下次開(kāi)機(jī)時(shí)量程開(kāi)關(guān)處在低阻量程檔。
9、大部分絕緣材料，特別是防靜電材料的電阻值在加電壓后會(huì)有一定變化而引起數(shù)字變化。
由于表面電阻率測(cè)試儀的分辯率很高，因而會(huì)引起顯示值的末尾幾位數(shù)也變化，這不是儀器本身的問(wèn)題，而是被測(cè)量對(duì)象的導(dǎo)電機(jī)理復(fù)雜而使得阻值有些變化。在這種情況下往往取2位有效數(shù)就夠了。
